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利用MEMS（Micro-electro—mechanical-system）技术，设计、研制了一种静电伺服型的“叉指”结构微加速度表。微加速度表量程-70～70g，全量程重复性1‰。微加速度表参与重大飞行试验获得了完整数据。
“叉指”结构微加速度表的设计
【摘 要】
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利用MEMS（Micro-electro—mechanical-system）技术，设计、研制了一种静电伺服型的“叉指”结构微加速度表。微加速度表量程-70～70g，全量程重复性1‰。微加速度表参与重大飞行试验
【出 处】
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中国工程物理研究院科技年报
【发表日期】
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2006年1期
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