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本文通过试验，确定了晶体管芯片制造过程中的磷吸杂工艺，方块电阻要求为６～８Ω／□（欧姆／方块）的工艺条件，并对有关的影响因素进行了分析，提出了解决的途径。
磷吸杂工艺条件的确定
【摘 要】
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本文通过试验，确定了晶体管芯片制造过程中的磷吸杂工艺，方块电阻要求为６～８Ω／□（欧姆／方块）的工艺条件，并对有关的影响因素进行了分析，提出了解决的途径。
【机 构】
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汕头华汕电子器件公司
【出 处】
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汕头科技
【发表日期】
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1999年3期
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