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GaN在半球型蓝宝石图形衬底上的生长
GaN在半球型蓝宝石图形衬底上的生长
来源 :科学时代 | 被引量 : 0次 | 上传用户:gghe
【摘 要】
:
采用蓝宝石图形衬底(Patterned Sapphire Substrate)技术既可以提高 LED 的光提取效率,又能够有效地降低 GaN 外延层中的位错密度,改善 GaN 的晶体质量和器件性能。
【作 者】
:
张超奇
李勇波
任杰
【机 构】
:
西安中为光电科技有限公司
【出 处】
:
科学时代
【发表日期】
:
2015年13期
【关键词】
:
蓝宝石衬底(pss)
氮化镓(GaN)
位错
发光效率
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采用蓝宝石图形衬底(Patterned Sapphire Substrate)技术既可以提高 LED 的光提取效率,又能够有效地降低 GaN 外延层中的位错密度,改善 GaN 的晶体质量和器件性能。
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