【摘 要】
：
论述纳米多晶硅-氮化铝隔膜-硅单晶衬底基片的研制.此基片可供制造高温力学量传感器.其要点是在力敏电阻条与硅弹性膜之间利用AlN进行绝缘隔离.AlN与硅的热膨胀系数接近,附着
论文部分内容阅读
论述纳米多晶硅-氮化铝隔膜-硅单晶衬底基片的研制.此基片可供制造高温力学量传感器.其要点是在力敏电阻条与硅弹性膜之间利用AlN进行绝缘隔离.AlN与硅的热膨胀系数接近,附着力高,耐击穿性好.又具有高化学稳定性,高热导率,对于压力传感器的电桥散热特别有利,可解决压力传感器启动时的零点时漂.由于无P-N结,力敏电阻无反向漏电,因此用此基片制造的力学量传感器的特性好（零点电漂移及热漂移小、非线性小）.力敏电阻条由纳米多晶硅构成.利用在600℃退火Al诱导晶化能使溅射得到的非晶硅转化成纳米多晶硅.
其他文献
为了解决某航空精密偶件孔径的测量及数据质量管理效率低下的问题,提出了利用计算机与智能仪表的串行通信实现自动测量及实时采集数据。并利用VB的MSChart控件实现了产品数据质量管理的智能化,提高了工作效率。数据管理模块有较强的通用性,可应用于类似的产品质量分析系统中。
今年是汶川大地震三周年的日子,地震灾区的生产生活逐步恢复,在各援建省市的大力帮扶下,灾区面貌焕然一新。伴随灾区经济恢复,灾区急需构建符合当地特色的新型产业体系,从＂外
文章运用文献综述法阐述了影响拳击运动员心理变化的原因，同时也据此提出了拳击运动员的一些心理训练手段与方法，为拳击教练员训练提供参考。
教育本身的目的就是生长，它的过程是一颗心灵和另一颗心灵的感应。学生最大的需要就是他内心里头要有温度，要有能量，所以有温度的教育就是幸福的教育。心灵有温度的教师永远都不
纤维结肠镜检查在消化系统的应用日益广泛,对结肠疾患有较高的诊断和治疗价值,本检查前需清洁肠道且要求较高,选择比较好的清洁肠道方法,对准确进行肠道诊断和治疗较有意义。
通过对四川盆地大地构造位置、地貌-气候、盆地盖层的岩性-岩相、水文地质条件等方面分析,认为四川盆地具备可地浸砂岩型铀矿的区域成矿条件.指出找矿有利地区是盆地中部构造
车身开发中主要的工装支撑包括模具、夹具及检具,焊接总成GD&T文件是汽车白车身各级总成检具制作的主要依据,从焊接总成GD&T的基本概念及标注方式出发,介绍了其设计原理及设
介绍了视觉定位系统的三维车体定位技术和激光定位技术,以及密封胶供胶系统方案。围绕车身全自动涂胶生产线建设中存在的问题进行深入分析,研究并探讨了多种因素对视觉定位系
珊瑚是一种海生腔肠动物，广泛生长在25～30℃左右的温暖洁净水域中。古生代以四射珊瑚为主，中生代出现六射珊瑚，新生代多见八射珊瑚。所渭八射珊瑚就是它有八床板、八个触手，珊瑚就
晋政发[2018]27号各市、县人民政府,省人民政府各委、办、厅、局:现将新修订的《山西省区域经济转型升级考核评价暂行办法》印发给你们,请认真贯彻执行。2017年3月17日印发的