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【摘 要】
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在室温下用低能量Ａｒ＋轰击ＭＯＳ电容器背面，能改善ＳｉＯ２－Ｓｉ系统的界面特性和击穿特性。结果表明，随着轰击时间的增加，固定电荷密度、界面态密度和漏电流减少，高场击穿的比率增大，然后这些参数变化平
【机 构】
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华南理工大学应用物理系
【出 处】
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华南理工大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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1995年12期
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