【摘 要】
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表面结构的测量与特征描述是精密计量技术的一个重要方面,传统上包括将轮廓情况根据不同的波长范围划分为粗糙度、波纹度和形状及后续的数字量化.按算得的参数检查它是否为公
【机 构】
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美国北卡罗来纳大学夏洛特分校精密计量中心
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表面结构的测量与特征描述是精密计量技术的一个重要方面,传统上包括将轮廓情况根据不同的波长范围划分为粗糙度、波纹度和形状及后续的数字量化.按算得的参数检查它是否为公差允许,以保证零件执行其指定的功能.当技术特性已经经过仔细确定,并且其过程稳定时,该方法是令人满意的;但是,当制造过程正在进行中或过程的不稳定、过程变化使技术特性失效时,就需要研究和功能表现及过程评定相关的表面参数.讨论了表面结构的分类与识别问题.同时阐述了为此目的而开发的先进技术及其应用.所研究的技术对从纳米尺度到传统的微米尺度的较大带宽范围内
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