【摘 要】
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使用低温光致发光研究（NH4）2S处理后的砷化镓（GaAs）表面的光学和化学特性，通过扫描光致发光光谱（PLmapping）和原子力显微镜（AFM）的测试结果可以确定，（NH4）2S处理GaAs表面可有效去除表面的
【机 构】
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长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
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使用低温光致发光研究（NH4）2S处理后的砷化镓（GaAs）表面的光学和化学特性，通过扫描光致发光光谱（PLmapping）和原子力显微镜（AFM）的测试结果可以确定，（NH4）2S处理GaAs表面可有效去除表面的氧化层（NH4）2S钝化后的样品的光致发光强度高于未经钝化的样品，且表面均匀性更好。该方法为Ⅲ—Ⅴ化合物半导体材料在高速和光电设备的应用提供了有效的钝化方法。
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