气相合成金刚石膜的取向性

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前言通过气相法在基板上生长的金刚石膜,如果基板为金刚石单晶,并且是在一定条件下外延生长起来的,可以观察到(111)、(110)、(100)三个低指数面。另一方面在基板为硅、钼、钽、蓝宝石等单晶或多晶金刚石的情况 Preface By diamond vapor grown on the substrate of the diamond film, if the substrate is a diamond single crystal, and is epitaxial growth under certain conditions, can be observed (111), (110), (100) three low index surface. On the other hand, when the substrate is single crystal or polycrystalline diamond such as silicon, molybdenum, tantalum, sapphire
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