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介绍了金刚石飞切微槽形状精度理论分析及衡量方法,进行了金刚石飞切单晶硅片的加工实验,并且利用VHX-2000超景深显微镜检测了单晶硅微槽的形状精度。并对实验数据进行处理,得到了进给量、主轴转速、切削深度等主要加工参数对微槽加工的形状精度的影响规律。
金刚石飞切下加工参数对硅片微槽形状精度影响规律研究
【摘 要】
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介绍了金刚石飞切微槽形状精度理论分析及衡量方法,进行了金刚石飞切单晶硅片的加工实验,并且利用VHX-2000超景深显微镜检测了单晶硅微槽的形状精度。并对实验数据进行处理,
【机 构】
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河南工业和信息化职业学院
【出 处】
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制造技术与机床
【发表日期】
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2016年6期
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