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【摘 要】
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研究中以醋酸铈为前驱体,采用微波等离子化学气相沉积(MPCVD)工艺制备了Ce掺杂的CVD金刚石薄膜.采用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)和拉曼检测,系统地研究了Ce掺杂对金刚石膜
【机 构】
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内蒙古科技大学机械工程学院
【出 处】
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内蒙古科技大学学报
【发表日期】
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2020年3期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(51562031,61765012),内蒙古自治区自然科学基金资助项目(2014MS0516,2015MS0550),包头市科学技术基金资助项目(2013J2001-1)
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