【摘 要】
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硅微电子兼容技术是微电子技术与其它相关技术相互结合的产物,是微电子学科领域的重要发展方向之一,并使其在性能和应用领域等方面得到进一步的提高和扩展.本文主要介绍GaAs/
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硅微电子兼容技术是微电子技术与其它相关技术相互结合的产物,是微电子学科领域的重要发展方向之一,并使其在性能和应用领域等方面得到进一步的提高和扩展.本文主要介绍GaAs/Si、SiGe/Si、LB/Si、低温微电子、真空微电子和超导/半导兼容技术的新进展和发展趋.
Microelectronics compatible technology is a product of the combination of microelectronic technology and other related technologies, which is one of the important development directions in the field of microelectronics and further enhances and expands its performance and application fields.This paper mainly introduces New Progress and Development Trend of GaAs / Si, SiGe / Si, LB / Si, Low Temperature Microelectronics, Vacuum Microelectronics and Superconducting / Semiconductor Compatible Technologies.
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