稀土掺杂薄膜型气敏元件

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【摘要】

：

介绍稀土掺杂薄膜型气敏元件的制作工艺和敏感性能，测试结果表明，掺Ｅｕ２Ｏ３的元件对丙酮敏感性高，而掺Ｎｄ２Ｏ３的元件对乙炔气敏感性高，文中对这类元件的气敏机理作了简单的讨论。

【作者】

：

元美玲汪庆年

【出处】

：

电子与仪表

【发表日期】

：

1998年1期

【关键词】

：

稀土氧化物薄膜气敏元件气敏机理二氧化锡

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