【摘 要】
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基于化学溶液法制备了尖晶石结构氧化物锰钴镍氧Mn1.56Co0.96Ni0.48O4（MCNO）薄膜材料,研究了其电学性质及红外器件的探测性能,包括器件的响应率,时间常数和探测率.制作了厚度为
【机 构】
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中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室,中国科学院空间主动光电重点实验室
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基于化学溶液法制备了尖晶石结构氧化物锰钴镍氧Mn1.56Co0.96Ni0.48O4（MCNO）薄膜材料,研究了其电学性质及红外器件的探测性能,包括器件的响应率,时间常数和探测率.制作了厚度为8μm的MCNO薄膜及红外热敏探测器件,测量了材料的阻值-温度曲线.制作了基于半球形锗透镜的浸没式MCNO薄膜探测器,具有时间常数较小（~18 ms）,响应率高（~4.4×103V/W）和探测率高（~5×108cm·Hz0.5/W）的优点.
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