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报导了一种专门为ＭＢＥ生长而设计的计算机控制系统，改善并扩展了原控制单元ＳｅｎｔｉｎｅｌⅢ的功能，并展示了由它控制生长的各种ＳｉＧｅ结构。
分子束外延的计算机控制
【摘 要】
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报导了一种专门为ＭＢＥ生长而设计的计算机控制系统，改善并扩展了原控制单元ＳｅｎｔｉｎｅｌⅢ的功能，并展示了由它控制生长的各种ＳｉＧｅ结构。
【机 构】
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复旦大学应用表面物理国家重点实验室
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1995年4期
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