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介绍了上海光源硬X射线微聚焦光束线站（BL15U1）的高精度样品定位系统。该系统由离线样品显微镜系统、在线样品实验系统和高精度定位样品架三部分组成。通过编译控制程序、样品架定位、坐标转换，将样品的在线X射线荧光成像实验和离线显微镜观察进行有效结合，首次在国内同步辐射装置上实现样品在微米范围内的快速离线定位。该系统帮助科研工作者在利用微束X射线研究物质微区特征时，快速准确地寻找微区研究对象。利用金网进行X射线荧光成像实验，对比离线高倍显微镜下金网各结点的坐标，对样品定位系统的精度进行验证。结果表明，该样品定