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期刊论文
膜厚度测量的椭偏仪法原理分析
膜厚度测量的椭偏仪法原理分析
来源 :大学物理实验 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiaohonghe
【摘 要】
:
薄膜厚度的测量通常有多种方法,但对超薄的膜厚,要达到较高精确度,且测量手段又较为简洁的,则椭偏仪法是理想的选择。本文对这种测量材料膜厚的光学方法从基本原理、仪器特点、测
【作 者】
:
陈篮
周岩
【机 构】
:
解放军广州通信学院!广州,510502
【出 处】
:
大学物理实验
【发表日期】
:
1999年3期
【关键词】
:
光学
椭偏仪
薄膜
厚度
opticsellipticalpolarizingapparatusthinfilmthickness
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薄膜厚度的测量通常有多种方法,但对超薄的膜厚,要达到较高精确度,且测量手段又较为简洁的,则椭偏仪法是理想的选择。本文对这种测量材料膜厚的光学方法从基本原理、仪器特点、测量过程、样品状态等方面,均作了全面的分析。
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