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本文用电弧放电等离子体ＣＶＤ快速生长金刚石薄膜。用拉曼散射，Ｘ射线衍射、电子显微镜等方法进行了结构表征。文中所论述的恒定的基板温度对沉积金刚石薄膜是非常重要的。
电弧放电法快速合成金刚石薄膜
【摘 要】
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本文用电弧放电等离子体ＣＶＤ快速生长金刚石薄膜。用拉曼散射，Ｘ射线衍射、电子显微镜等方法进行了结构表征。文中所论述的恒定的基板温度对沉积金刚石薄膜是非常重要的。
【机 构】
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上海交通大学理化中心,上海交通大学理化中心
【出 处】
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上海交通大学学报
【发表日期】
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1993年6期
【基金项目】
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国家“863”项目
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