【摘 要】
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研究了不同放电参数（功率、气压、频率）下容性耦合氩等离子体中电子温度以及电子密度的变化规律.电子温度和电子密度的测量由双探针诊断获得,而功率电极自偏压则由示波器测量得
【机 构】
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苏州大学物理科学与技术学院江苏省薄膜材料重点实验室,大连理工大学物理与光电工程学院三束材料改性国家重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金（10775103）
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研究了不同放电参数（功率、气压、频率）下容性耦合氩等离子体中电子温度以及电子密度的变化规律.电子温度和电子密度的测量由双探针诊断获得,而功率电极自偏压则由示波器测量得到.实验结果表明,不同驱动频率下,电子温度随功率上升明显降低直至达到稳定值,而随着驱动频率和气压的上升,电子与周围粒子碰撞加剧,从而导致电子温度降低.低功率时,电子密度呈现出类抛物线增长,高功率时,电子密度则线性增加.随着气压的上升,电子密度呈现先上升后略有下降的趋势.此外,当驱动频率由13.56MHz增加到60MHz时,观察到电子密度与驱动
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