大芯径掺硼应力预制棒的制备

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介绍了MCVD工艺制作掺硼应力预制棒的工艺过程,针对大芯径掺硼预制棒的发展需求开展了工艺试验,在现有设备技术条件下进行了工艺改进,制备出了大芯径掺硼应力预制棒。
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