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针对碳化硅材料的平面加工需求，提出了一种机械磨削辅助电火花加工的方法。通过设计组合式工具电极和搭建试验系统，采用去离子水冲液方式，在不同工艺参数（如峰值电压、峰值电流、脉宽、工具转速等）下，探索表面粗糙度与工具电极损耗的变化规律。试验结果表明：在相同电参数条件下，通过采用机械磨削辅助电火花加工方法，表面粗糙度值从Ra3．90μm降低到了Ra3．01μm，电极质量相对损耗减少了26．07％。