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在三氯氢硅的生产过程中会产生大量的尾气,而这些尾气的产生会直接对空气造成污染,其成分主要包括氯硅烷、氢气和氯化氢.若通过某种方法将这些尾气中的成分进行回收和再利用,不但可以避免对环境的污染,还能够避免资源的浪费.那么如何才能有效的回收三氯氢硅生产过程中的尾气,本文主要通过大孔树脂吸附法进行探讨回收效果.