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主要介绍了光栅尺动态测量仪的数据采集和数据处理系统部分。该系统采用了软硬件相结合的方法，因而体积小、造价低、功能强、操作简便，且又在软件上注意了对激光波长的修正、被测光栅尺的修正及测试数据的平均处理，从而保证了仪器的总体精度。
光栅尺动态测量仪数据处理系统
【摘 要】
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主要介绍了光栅尺动态测量仪的数据采集和数据处理系统部分。该系统采用了软硬件相结合的方法，因而体积小、造价低、功能强、操作简便，且又在软件上注意了对激光波长的修正、被
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械研究所
【出 处】
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光学精密工程
【发表日期】
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1994年3期
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