【摘 要】
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研究了1064 nm激光辐照致光学薄膜分层剥落的损伤特性及其抑制手段。从光学薄膜的界面结构出发分析了温升在分层剥落产生过程中的作用,从理论上得出了剥落面积与辐照脉冲能量
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所,中国科学院上海光学精密机械研究所,中国科学院上海光学精密机械研究所,中国科学院上海光学精密机械研究所,中国科学院上海光学精密机械研究所 上海 201800 中国科学院
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研究了1064 nm激光辐照致光学薄膜分层剥落的损伤特性及其抑制手段。从光学薄膜的界面结构出发分析了温升在分层剥落产生过程中的作用,从理论上得出了剥落面积与辐照脉冲能量之间的关系式并通过实验进行验证,间接证明了分层剥落的成因;对分层剥落的抑制、改善方法进行了理论探讨与实验,证明亚阈值能量脉冲预辐照之后剥落面积明显减小,并且在一定范围内预辐照脉冲的能量密度越高相应的效果越明显,对作用机制给出了定性解释。
The damage characteristics of the optical film delaminated by 1064 nm laser irradiation and its inhibition were studied. From the interface structure of the optical film, the effect of temperature rise on the delaminating process was analyzed. The relation between the exfoliation area and the energy of the irradiation pulse was theoretically obtained and verified by experiments. It proves indirectly that the delamination The cause of spalling; theoretical study and experiment on the inhibition and improvement of delaminated spalling show that the spalling area is obviously reduced after sub-threshold energy pulse pre-irradiation, and the energy density of pre-irradiation pulse is higher in a certain range The more obvious the effect is, the mechanism of action is given a qualitative explanation.
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