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本文实现了光刻照明系统参数测试的串行数据通信,及参数数据实时曲线绘制,并通过RS-232与RS-485的转换,达到了在50m的数据远程通信。分析了通信过程中误码的来源,提出采取选择下位机适配晶振频率的方法,解决了串行通讯高速率与可靠性之间矛盾,可实现串行数据高速低误差传输。
光刻照明系统参数测试的数据通信可靠性研究
【摘 要】
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本文实现了光刻照明系统参数测试的串行数据通信,及参数数据实时曲线绘制,并通过RS-232与RS-485的转换,达到了在50m的数据远程通信。分析了通信过程中误码的来源,提出采取选
【机 构】
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四川大学光电科学技术系
【出 处】
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工具技术
【发表日期】
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2011年11期
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