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【摘 要】
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采用直流热阴极CVD法以B（OCH3）3为掺杂剂制备了硼掺杂金刚石薄膜,利用等离子体发射光谱、SEM、Ram an和XRD研究了硼掺杂对金刚石薄膜生长特性的影响,通过与未掺杂金刚石薄膜的
【机 构】
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哈尔滨工业大学城市水资源与水环境国家重点实验室,牡丹江师范学院物理系
【出 处】
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无机材料学报
【发表日期】
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2009年3期
【基金项目】
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基金项目：国家自然科学基金（50638020）,黑龙江省杰出青年基金（JC-02-04）,城市水资源与水环境国家重点实验室开放研究基金（QA200805）
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