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用电子顺磁共振和光吸收法研究了1—17MeV~(35)Cl和~(19)F离子注入石英玻璃产生的缺陷的特性,并与2MeV质子注入和0.633MeVγ射线辐照的结果作了比较。观察到MeV重离子轰击下石英表面发生分裂和密度变化现象。对于17MeV~(35)Cl~(+4)离子,注入通量约为1×10~(11)Clcm~(-2)下,体收缩率约为0.36 %。