TiO2复合薄膜光生亲水及防结雾性能研究

• 作 者: 侯亚奇 庄大明 张弓 孙涛磊 江雷 吴敏生
• 机 构: 清华大学机械工程系,中国科学院化学研究所
• 出 处: 真空科学与技术学报
• 发表日期: 2004年5期
• 关键词: TiO2薄膜 光生亲水性 防结雾 Ag/TiO2复合薄膜

利用中频交流磁控溅射技术制备了TiO2薄膜、Ag/TiO2复合薄膜和TiO2:MoO3复合薄膜,研究了TiO2薄膜的光生亲水性和防结雾特性,讨论Ag及MoO3对TiO2薄膜光生亲水性的影响.发现:制备的TiO2薄膜有良好的光生亲水性和防结雾效果,同时薄膜越厚其光生亲水性越明显.800 nm的TiO2薄膜在TUV辐照3 min后其接触角可下降至2°以下.Ag/TiO2复合薄膜是一种接触角在较大范围内可变的薄膜材料,紫外辐射可使其接触角在120°到0°间调节.而TiO2:MoO3