应用于EEPROM的超薄SiO2 TDDB特性的研究

来源 :微电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：cuileidan

【摘要】

：

阐述了应用于ＥＥＰＲＯＭ中的超薄隧道氧化层随时间的击穿特性。比较和分析了不同的可靠性测试方法，并对超薄氧化层生长工艺的优化进行了探讨。 The breakdown characteristics of ultra

【作者】

：

薛刚吴正立蒋志曾莹朱钧

【机构】

：

清华大学微电子所

【出处】

：

微电子学

【发表日期】

：

1999年03期

【关键词】

：

半导体工艺 EEPROM 超薄SiO2 TDDB

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

阐述了应用于ＥＥＰＲＯＭ中的超薄隧道氧化层随时间的击穿特性。比较和分析了不同的可靠性测试方法，并对超薄氧化层生长工艺的优化进行了探讨。 The breakdown characteristics of ultrathin tunnel oxide used in EEPROM over time are described. Different reliability test methods are compared and analyzed, and the optimization of ultra-thin oxide growth process is discussed.

其他文献

浅谈网络环境下对企业财务管理的研究

现在是网络化和数据化的时代,与传统的市场环境不同,网络环境的不断深化和发展使得企业的财务管理模式发生了翻天覆地的变化.企业的传统财务管理的模式和方法已经很难满足现

期刊

网络企业财务管理现状方法

面向21世纪的人类住区：健康城市及其规划

初步探讨了健康城市的内涵及其衡量指标，同时从建立城市生态住区、城市生态支持系统、城市土地利用优先取得制度、城市清洁和安静的交通系统、“人人享有适当的住房”政策、城

期刊

人类住区健康城市健康城市规划可持续发展

内镜超声引导下门静脉压力梯度测定在动物实验中的应用初探

目的探究内镜超声引导下门静脉压力梯度(EUS-PPG)测定在正常小型猪模型中的应用及安全性。方法选取4只小型猪，雌雄各2只，月龄8～12个月，体重20～30 kg，在全麻下经线阵内镜超声引导，使用22 G穿刺针穿刺门静脉、肝静脉、下腔静脉，再使用中心静脉压模块测压，每条血管测3次取平均值。术中及术后监测生命体征，记录门静脉压力梯度(PPG)结果(PPG为门静脉压力与肝静脉或下腔静脉压力差值)以及操

期刊

EndosonographyHypertensionportalPortal pressure gradientHepatic venous press

城市地铁与轻轨电动车组的交流传动方案

探讨了在直流750V网压下用IGBT三点式逆变器实现城市地铁与轻轨电动车组的交流传动方案,并对直流1500V网压下进口地铁车辆上的交流传动装备的国产化问题提出一些建议。 In t

期刊

三点式逆交器地铁轻轨交流传动国产化

改进SSPD浪涌吸收能力的工艺研究

介绍了用于宽带快速信息传输系统的半导体瞬态浪涌保护器件（ＳＳＰＤ）在小的器件面积和小的器件电容情况下，提高ＳＳＰＤ浪涌吸收能力的工艺方法。理论分析和实验结果都说明，关键是减少基区总宽度

期刊

半导体器件半导体工艺浪涌保护器件信息传输系统

天然免疫分子在肾脏炎性反应及间质纤维化中的作用

近几年来天然免疫的研究获得长足进展,引起医学界的广泛关注.许多累及肾脏的疾病如感染、系统性自身免疫性疾病、肾移植排斥反应、肾小球肾炎、肾间质纤维化等均与天然免疫有关.本文重点介绍天然免疫分子在肾脏炎性反应及间质纤维化中作用的最新进展。

期刊

天然免疫分子肾脏炎性反应系统性自身免疫性疾病肾间质纤维化移植排斥反应肾小球肾炎学界感染

集约化猪场猪粪尿处理问题探讨

针对集约化猪场猪粪尿的特征及其对环境的污染，综述了国内外猪粪尿的处理工艺，去除机理和综合利用研究的成果，并在此基础上，从法规建设，防治结合和综合利用方面提出了建议.

期刊

猪粪尿处理工艺去除机理综合利用防治对策

论集约化电费核算及电费单价管理

电力资源作为维系整个社会生产生活的重要能源,在人们的日常生产生活中具有重要地位.供电企业对于电费的核算以及电价的定位对于广大人民群众和用电企业的利益都有着巨大的关

期刊

集约化电费核算管理

复发型结肠黏膜-黏膜下拉长型息肉一例

1例腹痛4年后复发患者，结肠检查见多发息肉，病理提示腺体结构和腺上皮均无异型，黏膜肌层完整，黏膜下层见大量增生的厚壁血管及淋巴管沿息肉长轴方向走行，局部血管充血，免疫组化染色结果示增生的血管内皮细胞，CD31(＋)，最终诊断为结肠黏膜-黏膜下拉长型息肉。

期刊

成骨不全家系患者相关基因突变筛查及分析

目的筛查4例成骨不全(OI)家系先证者Ⅰ型前胶原α链基因(COL1A1/COL1A2)基因突变,分析基因型与表型的关系.方法收集先证者及家系成员临床资料,采集先证者、家系成员及50例

期刊

成骨不全基因诊断高分辨率熔解曲线分析基因型表型

应用于EEPROM的超薄SiO2 TDDB特性的研究

其他学术论文