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【摘 要】
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研制了一种基于自组装技术的静电驱动微机电系统(MEMS)倾斜镜,并利用表面硅工艺PolyMUMPs制备了样品。倾斜镜主要由一个中心镜面,两个偏转梁和两个可实现自组装的复合悬臂梁
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,电子科技大学光电信息学院
【出 处】
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强激光与粒子束
【发表日期】
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2015年2期
【基金项目】
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supported by National Natural Science Foundation of China(60978051),National Natural Science Associate Foundation of China(11176033)
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