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利用自行设计制作的微齿轮硅胶模具，探讨了微齿轮真空铸型的可行性。采用正交实验方法进行实验，研究了微齿轮真空铸型过程中模具温度、树脂温度、真空脱泡时间和固化温度对微齿轮外形尺寸的影响作用。研究结果表明，利用硅胶模进行微齿轮真空铸型可批量获得精度较高的成形件，真空脱泡时间对微齿轮成形件的外形尺寸影响最大。