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【摘 要】
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通过对单晶硅材料不同去除机理的研究,分析了单晶硅材料磨削过程中不同去除形式所对应的磨粒去除深度。结合硅片自旋转磨削中砂轮与硅片相对运动特点,分别建立了针对硅片不同
【机 构】
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广东工业大学机电工程学院
【出 处】
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金刚石与磨料磨具工程
【发表日期】
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2013年6期
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(NO.U0734008),广东省自然科学基金资助项目(No.815009001000048)
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