直流等离子体化学气相沉积TiN涂层的组织、结构的研究

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本文用直流等离子体化学气相沉积技术在高速钢,Cr_(12)、40Cr、GCr15、38CrMoA1氮化、40Cr渗硼、合全钢喷涂镍基合金的试块上沉积了TiN涂层。对各基材上沉积的TiN涂层进行了晶体构造、表面及断口形貌、针孔率及硬度测定和分析。 In this paper, TiN coating was deposited on DCT, Cr (12), 40Cr, GCr15, 38CrMoA1 nitrided, 40Cr boronized, and all steel coated Ni-based alloy test blocks by DC plasma chemical vapor deposition. The structure, surface and fracture morphology, pinhole porosity and hardness of TiN coatings deposited on each substrate were measured and analyzed.
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