纳米胶体自激脉冲空化射流抛光技术

• 作 者: 王星 徐琴 张勇 张飞虎
• 机 构: 河南工业大学机电工程学院,哈尔滨工业大学机电工程学院
• 出 处: 光学精密工程
• 发表日期: 2018年9期
• 关键词: 自激脉冲 空化 纳米胶体 射流 抛光
• 基金项目: 国家自然科学基金河南省联合基金重点项目资助(No.U1604254);国家自然科学基金面上项目资助(No.51775170);河南省教育厅自然科学项目资助(No.17A460009)

为了满足光学复杂曲面的精密、高效加工,提出一种利用空化效应促进射流加工效率的光学表面加工方法——纳米胶体自激脉冲空化射流抛光,并研制了加工系统。采用流体动力学对纳米胶体自激脉冲空化射流抛光中的喷射过程进行了仿真,获得了周期为0.3s的自激脉冲射流典型时刻下加工流场的流体动、静压力、速度、空化效应分布规律。进行了纳米胶体自激脉冲空化射流抛光试验,结果表明该系统能够产生效果良好的自激脉冲空化射流。采用该方法对单晶硅表面进行加工可以得到表面粗糙度为Ra0.904nm(Rms1.225nm)的超光滑表面,此加工表