Ti/Al过渡层对共掺杂类金刚石薄膜性能的影响

• 作 者: 周永 孔翠翠 李晓伟 孙丽丽 郭鹏 周佳 李玉宏 李文献 汪
• 机 构: 上海大学材料科学与工程学院材料所,中国科学院宁波材料技术与工程研究所中国科学院海洋新材料与应用技术重点实验室浙江省海洋材料与防护技术重点实验室,酒泉职业技术学院甘肃省太阳能发电系统工程重点实验室,酒泉
• 出 处: 表面技术
• 发表日期: 2019年1期
• 关键词: 类金刚石薄膜 Ti-Al共掺杂 过渡层 结合力 残余应力 机械性能 diamond-like carbon filmTi-Al co-dopedtransiti
• 基金项目: 国家自然科学基金(51772307),浙江省重大科技招标项目(2017C01001),宁波市自然基金项目(2017A610008),甘肃省高等学校科研项目(2017A-273),兰州理工大学新能源学院重点科研项目(LUT-XNY-2017009).

目的研究Ti/Al过渡层对不同溅射电流下的Ti/Al共掺杂DLC薄膜的成分、结构、机械性能和结合力的影响。方法采用线性离子束复合磁控溅射技术在316L基底上沉积含有Ti/Al过渡层的Ti/Al共掺杂DLC薄膜,利用场发射扫描电子显微镜(SEM)、X射线光电子能谱仪(XPS)、高分辨透射电镜(HRTEM)及共聚焦激光拉曼光谱仪分析了薄膜的界面形貌及键态结构。采用辉光放电光谱仪对样品成分进行深度分析,纳米压痕仪测量薄膜硬度及弹性模量,划痕测试系统测量膜基结合力,残余应力仪测量薄膜内应力。结果与未添加过渡层相比