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设计了一种改进的电容运算放大器检测电路,该电路主要包括正弦激励源电路、电容检测电路、精密全波整流电路和增益滤波电路.实验证明,采用该电路的传感器,非线性误差小于0.1%,分辨率优于0.1 μm.
电容式微位移传感器检测电路的设计
【摘 要】
：
设计了一种改进的电容运算放大器检测电路,该电路主要包括正弦激励源电路、电容检测电路、精密全波整流电路和增益滤波电路.实验证明,采用该电路的传感器,非线性误差小于0.1%
【机 构】
：
哈尔滨工业大学
【出 处】
：
机械与电子
【发表日期】
：
2005年1期
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