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本文简介半导体用高纯气的种类、品质要求和供应系统,对以超大规模集成电路为代表的半导体高纯气的制取、纯化和高纯气配管技术进行了介绍,可供从事高纯气供气系统设计、施工和运营人员参考。
半导体生产用高纯气体供应系统
【摘 要】
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本文简介半导体用高纯气的种类、品质要求和供应系统,对以超大规模集成电路为代表的半导体高纯气的制取、纯化和高纯气配管技术进行了介绍,可供从事高纯气供气系统设计、施工
【机 构】
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中国电子工程设计院
【出 处】
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洁净与空调技术
【发表日期】
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2002年04期
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