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【摘 要】
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本文采用阳极氧化工艺制备AlGaAs/GaAs自身氧化膜,进而制成MOS结构。对氧化膜的组分和稳定性,以及MOS结构的C—V特性进行了实际测量和理论分析。实验结果表明:经氮气退火后的
【机 构】
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河北工学院电气工程系
【出 处】
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河北工学院学报
【发表日期】
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1992年2期
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