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光伏行业PECVD工序一直面临着产能过低、碎片率高、二次污染的种种难题，通过介绍我们自主研发的全自动石墨舟上下料设备，阐述PECVD工序使用机器人技术的优势和技术难点。
机器人在光伏太阳能行业PECVD工序的应用
【摘 要】
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光伏行业PECVD工序一直面临着产能过低、碎片率高、二次污染的种种难题，通过介绍我们自主研发的全自动石墨舟上下料设备，阐述PECVD工序使用机器人技术的优势和技术难点。
【机 构】
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中国电子科技集团公司第二研究所
【出 处】
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山东工业技术
【发表日期】
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2017年14期
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