革新的高锰酸盐内蚀去污工艺

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革新的高锰酸盐内蚀去污工艺[美]FrancescoTomaiuolo1引言在多层板金属化前,需要专门的内蚀/去污处理,这种处理的主要目的在于消除因钻孔时环氧树脂熔解而产生的钻污。环氧树脂钻污内层铜造成不同电路严重中断。图1环氧树脂对内层铜的钻污作为环... Innovative Removal of Permanganate Internal Desiccant [US] FrancescoTomaiuolo1 Introduction Prior to multi-layer metallization, a special internal etch / decontamination treatment was required. The main purpose of this treatment was to eliminate the risk of epoxy resin melting during drilling The resulting pollution. Drilling epoxy inner layer of copper caused serious disruption of different circuits. Figure 1 Epoxy resin drilling on the inner layer of copper as a ring ...
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