【摘 要】
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【正】Recently,there is an increasing requirement for controlling linear motion up to a few hundred of millimeter strokes in the area of the liquid crystal disp
【机 构】
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Dept.ofMechatronicsEngineeringKoreaPolytechnicUniversity,Dept.ofResearch&,DevelopmentTSACo.
【基金项目】
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supported by the ministry of education,science tec
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【正】Recently,there is an increasing requirement for controlling linear motion up to a few hundred of millimeter strokes in the area of the liquid crystal display(LCD) production equipment.The requirements of the motion system for LCD production equipment a
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