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我们在一台制作第三代象增强器的超高真空系统中安装了俄歇能谱仪，以其对ＧａＡｓ光电阴极的制备过程进行在线监测分析，其中包括选择性腐蚀过程的俄歇观测，有极激活前清洁措施的效果评价和Ｃｓ－Ｏ激活过程中Ａｓ／Ｇａ俄歇信号比对光电灵敏度的影响，Ｃｓ源纯度的分析及对光电发射的影响。
GaAs光电阴极制备工艺的俄歇分析
【摘 要】
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我们在一台制作第三代象增强器的超高真空系统中安装了俄歇能谱仪，以其对ＧａＡｓ光电阴极的制备过程进行在线监测分析，其中包括选择性腐蚀过程的俄歇观测，有极激活前清洁措施的效果评价
【机 构】
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中国科学院西安光学精密机械研究所半导体室
【出 处】
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光子学报
【发表日期】
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1996年10期
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