镀窄带干涉滤光片用的直控极值法

来源 :光学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：gudujian123456

【摘要】

：

直控极值法具有自动补偿各层膜的光学厚度的优点,至今仍被人们广泛采用.但在镀制窄带滤光片的最末几层时,有时会因出现反常现象而带来巨大误差,甚至失灵.本文用电脑模拟了滤光片的镀制过程,分析了出现反常现象的原因,从而提出了改进及消除这种现象的措施.结果表明:可以用带宽小于所镀滤光片的通带半宽度的光束来进行膜厚监控.

【作者】

：

尹树百

【机构】

：

中国科学院光电技术研究所

【出处】

：

光学学报

【发表日期】

：

1983年3期

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