掺杂纳米SnO2气敏传感器的研究进展

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【摘要】

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介绍了半导体气敏传感器的发展历史和掺杂纳米SnO2气敏传感器的特性与应用;详细分析了掺杂金属单质、金属氧化物和稀土元素对SnO2气敏性的影响,通过掺杂可以显著改善其对特定

【作者】

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杨华明杜春芳欧阳静张向超苏晓辉

【机构】

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中南大学资源生物学院无机材料系

【出处】

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微纳电子技术

【发表日期】

：

2005年4期

【关键词】

：

二氧化锡掺杂传感器气敏特性

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介绍了半导体气敏传感器的发展历史和掺杂纳米SnO2气敏传感器的特性与应用;详细分析了掺杂金属单质、金属氧化物和稀土元素对SnO2气敏性的影响,通过掺杂可以显著改善其对特定气体的灵敏度、稳定性和选择性等参数;利用元件表面的氧吸附理论分析掺杂纳米SnO2的气敏机理;展望了SnO2气敏传感器的发展前景.

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