【摘 要】
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为了满足更好的分辨率和更多适应性的要求,以及半导体工业要求的特殊条件,国际科学仪器公司最近介绍了一个新系列的扫描电子显微镜,它们命名为SS-40,SS-60和SS-130型。 它们
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为了满足更好的分辨率和更多适应性的要求,以及半导体工业要求的特殊条件,国际科学仪器公司最近介绍了一个新系列的扫描电子显微镜,它们命名为SS-40,SS-60和SS-130型。 它们相互间的差别在如下几个方面:工作电压范围、透镜电流调节,显示萤光屏尺寸和真空系统。但它们都包含若干独一无二的特色这使它们特别适宜测量半导体晶片和ICs。
In order to meet the demand for better resolution and more adaptability, and the special conditions required by the semiconductor industry, International Scientific Instruments recently introduced a new line of scanning electron microscopes, named SS-40, SS-60 and SS -130 type. They differ from each other in several ways: working voltage range, lens current regulation, display screen size and vacuum system. But they all contain a number of unique features that make them particularly suitable for measuring semiconductor wafers and ICs.
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