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工业生产中需要测量机械零件的润滑油膜厚度,利用超声波检测可实现无损检测的目的。利用氮化铝（AlN）陶瓷膜制成的压电换能器对超声波发射和接收。利用射频磁控溅射技术,在不锈钢表面沉积AlN薄膜。利用X线衍射仪（XRD）和原子力显微镜（AFM）等设备对AlN薄膜结构表征,并对结果进行了讨论。
不锈钢表面溅射氮化铝陶瓷膜工艺参数的研究
【摘 要】
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工业生产中需要测量机械零件的润滑油膜厚度,利用超声波检测可实现无损检测的目的。利用氮化铝（AlN）陶瓷膜制成的压电换能器对超声波发射和接收。利用射频磁控溅射技术,在不锈
【机 构】
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南京航空航天大学机电学院
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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2017年5期
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