【摘 要】
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微米级小芯片的检测一直是研发领域检测的难点,常见的热像仪可有效检测的最小目标通常为0.2mm以上,对于微米级别的芯片晶格和元器件来说,需要在像素和光学系统上均达到一定性
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微米级小芯片的检测一直是研发领域检测的难点,常见的热像仪可有效检测的最小目标通常为0.2mm以上,对于微米级别的芯片晶格和元器件来说,需要在像素和光学系统上均达到一定性能要求才可以准确检测。福禄克高端红外热像仪配套专用的微距镜头,可对最小32μm的目标进行有效检测。
Micrometer chip detection has always been the difficulty of research and development field, the common thermal imaging camera can effectively detect the minimum target is usually above 0.2mm, for micron-level chip lattice and components, the need in the pixel and optical system Have reached a certain performance requirements can be accurately detected. Fluke high-end infrared camera supporting a dedicated macro lens, the minimum 32μm target for effective detection.
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