【摘 要】
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二十多年前,著名的美国物理学家费曼说过:如果微细加工技术能加工线度8nm的图形,就可以把二十四卷《大英百科全书》刻在一个针尖上.今天,他的预言正在变成现实,微离子束的束
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二十多年前,著名的美国物理学家费曼说过:如果微细加工技术能加工线度8nm的图形,就可以把二十四卷《大英百科全书》刻在一个针尖上.今天,他的预言正在变成现实,微离子束的束斑直径已达到10nm. 由于计算机和空间技术的需要,微电子学迅速发展,集成电路的集成度越来越高,目前已制
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