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双流体喷射洗净技术
双流体喷射洗净技术
来源 :洗净技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wangchello
【摘 要】
:
为了进一步防止大气臭氧层破坏及地球温室效应的产生,近年来日本洗净行业开展了多种技术的研究,其中在削减药液使用量、降低环保负荷方面的洗净技术研究中取得了很大突破.
【作 者】
:
王青
【机 构】
:
保定爱尔发清洗装置有限公司
【出 处】
:
洗净技术
【发表日期】
:
2003年08M期
【关键词】
:
双流体喷射洗净技术
RCA洗净技术
技术原理
硅片
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为了进一步防止大气臭氧层破坏及地球温室效应的产生,近年来日本洗净行业开展了多种技术的研究,其中在削减药液使用量、降低环保负荷方面的洗净技术研究中取得了很大突破.
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