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永磁式微电机中广泛采用的永磁材料有铝镍钴系列、硬磁铁氧体系列、稀土钴系列和稀土钕铁硼系列等多种。永磁材料又叫硬磁材料,其主要特征是剩磁感应和矫顽力高。按生产工艺的不同,又有各向同性和各向异性的区别。对各向异性材料,其磁性最好的方向也是容易磁化的方向,这个方向上的磁性比同一种类的各向同性材料有明显提高。1 材料种类及性能特点1.1 铝镍钴系列铝镍钴系列包括铸造和粉末冶金加工2种。图1为铸造铝镍钴永磁材料的去磁曲线。图1 铸造铝镍钴永磁材料去磁曲线铝镍钴永磁材料的剩磁较大,最大磁能积在永磁材料中处于中上水平,