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用溶胶－凝胶方法制备出了薄膜型ＴｉＯ２氧敏传感器。研究了溶胶－凝胶过程中各工艺参数对薄膜质量的影响，用ＴＥＭ和ＳＥＭ对薄膜的显微结构进行了观察，测定了薄膜型氧敏传感器的氧敏特性和响应时间，实验表明，随着温度的升高，传感器的响应时间缩短，且在同一温度下，从富氧态到缺氧态的响应时间比从缺氧态到富氧态的响应时间短。